下载被覆微粒子及被覆微粒子的制造方法的技术资料

文档序号:3988705

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本发明提供一种被覆微粒子,通过使内部断面形状具有多边形的真空容器以相对于上述断面大致垂直的方向作为旋转轴旋转,搅拌或者旋转该真空容器内的粒径为5μm以下的微粒子,同时进行溅射,从而在该微粒子的表面上被覆粒径比该微粒子小的超微粒子或者薄膜,上...
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