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本实用新型是一种晶圆多向翻转检测机台，包括一机台本体、一多向翻转汲取装置及一控制装置，机台本体具有一置料区及一翻转检测区，多向翻转汲取装置是对应置料区及翻转检测区设置在机台本体内，并供汲取晶舟放置的晶圆并移载至翻转检测区以进行多向翻转，以及...
该专利属于晟耀光电科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过晟耀光电科技股份有限公司授权不得商用。

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