下载一种直线加速器真空系统及其使用方法的技术资料

文档序号:39875460

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本发明涉及直线型加速器技术领域,具体是一种直线加速器真空系统及其使用方法;该系统的电子枪与加速管的衔接处设置有第一高真空离子泵,加速管的下端连接一五通管道,五通管道的下端口通过真空插板阀连接扫描盒,五通管道的其余三端口分别连接两第二高真空离...
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