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本实用新型涉及晶圆加工生产技术领域，具体为一种多工位自动晶圆开盖装置，包括输送带，以及设置在输送带上方的开盖机构；所述输送带的顶端固定有密闭壳，且密闭壳的内部穿出有输气管，所述输气管的顶端套设有软管；所述开盖机构包括装配架
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