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本发明提供一种基于深度学习的纳米级结构加工预测及监测方法和装置，包括：获取激光加工参数，将所述激光加工参数输入至激光模块，以得到激光光束；将所述激光光束分束成监测激光光束和加工激光光束；利用预先构建的在线监测模块对所述监测激光光束进行实时监...
该专利属于北京工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过北京工业大学授权不得商用。

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