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本发明揭露一种基板夹取装置，该基板夹取装置包括夹持单元、基板定位结构以及气浮单元。夹持单元用以夹取基板；该基板放置于该基板定位结构上；该气浮单元设置于该基板定位结构远离该基板的第一侧，该气浮单元朝该基板定位结构喷出空气而使该基板定位结构浮起...该专利属于友达光电（苏州）有限公司;友达光电股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过友达光电（苏州）有限公司;友达光电股份有限公司授权不得商用。