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本发明公开了一种用于处理衬底的设备和衬底烘烤设备的冷却模块。衬底处理设备包括：热板，用于加热衬底；以及冷却单元，用于冷却热板；其中，冷却单元包括支撑板，具有形成在支撑板与热板之间的空间，以及多个喷嘴，安装在支撑板上用于向热板的底表面供应冷却...
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