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本发明公开了一种用于半导体光电器件瞬态光电性能测试的测试系统，包括：测试台，固定待测器件；稳态光源，发射稳态光照射待测器件，以在其内部生成稳态光电压信号；瞬态脉冲光源，发射脉冲光照射待测器件，以在其内部生成瞬态光电压信号；光路选择单元，切断...
该专利属于北京卓立汉光仪器有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京卓立汉光仪器有限公司授权不得商用。

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