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本发明属于半导体元器件加工技术领域，具体涉及一种基于振荡摆风的除尘装置，包括箱体、翻转机构以及风刀模组，翻转机构转动连接于箱体，并被配置为联动工件旋转运动；风刀模组包括离子风刀、直线模组和摆动机构，直线模组被配置为驱动离子风刀相对于工件沿直...
该专利属于上海骄成超声波技术股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海骄成超声波技术股份有限公司授权不得商用。

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