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本发明公开了一种微悬臂梁接触长度的测量结构及其方法，该测量结构包括衬底和两个尺寸相同的金属悬臂粱，所述衬底上设有悬臂梁锚区、与测量结构相对应的用于静电激励的下拉电极、分别对应于两个悬臂粱的两个衬底接触电极；所述悬臂粱通过悬臂梁锚区位置对称地...
该专利属于东南大学所有，仅供学习研究参考，未经过东南大学授权不得商用。

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