下载一种混分设备的工作方法的技术资料

文档序号:39753350

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本发明提供一种混分设备的工作方法,具体步骤包括:(1)晶圆抓取机构将晶圆盘放置到第一晶圆存放装置上;(2)晶圆抓取机构将晶圆盘放置到第一晶圆分选装置上;(3)第一晶圆推送装置将芯片推送实现分选;(4)当一颗芯片被第一晶圆推送装置推送完成后;...
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