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本发明公开了一种电子材料制造用快速干燥装置，应用在电子材料干燥技术领域，本发明通过设置支撑柱
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该专利属于山东芯恒基电子元件有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过山东芯恒基电子元件有限公司授权不得商用。

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