温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及太阳能电池生产方法领域，尤其是实现太阳能电池缓变叠层减反射薄膜的方法。在经处理后的太阳能电池硅片受光表面通过化学气相沉积工艺法进行沉积减反射薄膜，开始沉积时的气体为ＳｉＨ４和ＮＨ３的混合气体或ＳｉＨ４和Ｎ２的混合气体，在沉积过程中...
该专利属于常州天合光能有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过常州天合光能有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。