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靶材组件焊接方法技术
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文档序号:3974060
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一种靶材组件焊接方法,该方法使用兼具吸附、加压功能的压力装置,所述压力装置具有一个或多个工作端,该方法包括:对背板进行预热,将焊料分布在背板的结合面;使压力装置在吸附状态下工作,以压力装置的工作端吸附靶材至背板上,使所述靶材的结合面与所述背...
该专利属于宁波江丰电子材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过宁波江丰电子材料有限公司授权不得商用。
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