下载一种光束整形超表面器件及其制备方法的技术资料

文档序号:39729892

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本发明公开了一种光束整形超表面器件及其制备方法,所述超表面器件包括衬底和位于衬底上的超表面;制备方法为:首先设置超表面单元特征参数
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