下载光纤微腔气体传感器及其制备方法的技术资料

文档序号:39720006

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本发明具体公开了光纤微腔气体传感器及其制备方法,其中制备方法包括将单模光纤和多模光纤进行熔接,再对熔接处进行拉锥;在单模光纤的锥形区域上刻蚀出微孔,并在微孔的内壁上沉积气敏层;在多模光纤的端面粘贴反射膜,得到光纤微腔气体传感器
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该专利属于光子集成(温州)创新研究院所有,仅供学习研究参考,未经过光子集成(温州)创新研究院授权不得商用。

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