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本实用新型涉及晶体硅太阳能电池片生产技术领域，尤其涉及一种用于大尺寸硅片的扩散炉，其包括炉体和进气管组件；所述炉体包括炉口和炉尾，所述炉尾设有出气管道，所述炉体内等间距设有至少两个进气管组件；所述进气管组件沿所述炉体的轴向穿过所述炉体伸入所...
该专利属于天津爱旭太阳能科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过天津爱旭太阳能科技有限公司授权不得商用。

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