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一种大口径石英玻璃基板的复合磨削方法技术
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文档序号:3965901
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本发明公开了一种大口径石英玻璃基板的复合磨削方法,它包括以下步骤:(1)将专用砂轮安装在磨床上对其预磨;(2)将经过粗加工的基板清洗后安装在磨床主轴上;(3)启动磨床主轴带动工件旋转,利用专用磨削液喷射工件表面;(4)启动砂轮轴带动专用砂轮...
该专利属于天津大学所有,仅供学习研究参考,未经过天津大学授权不得商用。
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