下载一种钝化接触太阳能电池制备方法的技术资料

文档序号:39647527

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本发明提供了一种钝化接触太阳能电池制备方法,包括:制备底电池;在底电池的背面依次制备隧穿氧化层和掺杂多层非晶硅层,掺杂多层非晶硅层由内至外包括第一掺杂非晶硅层
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