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研磨装置以及研磨方法制造方法及图纸
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文档序号:39638636
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本发明的研磨装置的特征在于,具备:多个被加工物保持部,其分别保持被加工物;基台部,其能够以中心轴为中心旋转,且以多个被加工物保持部在距中心轴任意的距离的同一圆周上相互成为等间隔的方式配置有多个被加工物保持部;以及多个被加工物研磨部,其对保持...
该专利属于株式会社吉田光学工业所所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社吉田光学工业所授权不得商用。
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