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一种测量表面结构弹性参数的接触式测量模块制造技术
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文档序号:39614266
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本实用新型涉及一种测量表面结构弹性参数的接触式测量模块,包括:在测量期间直接或间接抵住表面结构的基准面;传感器,用于测量对所述表面结构施加动作时所述表面结构的力学响应,所述动作至少包含按压或拉伸;致动器,用于驱动所述传感器实施所述动作;压力...
该专利属于北京他山科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过北京他山科技有限公司授权不得商用。
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