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本实用新型公开了一种供气管道连接装置,属于供气管道技术领域,包括第一管道,所述第一管道一侧设置有第二管道,第一管道靠近第二管道一侧设置有第一突出部,第二管道靠近第一管道一侧设置有第二突出部,第一突出部与第二管道内部设置有内连接组件,本实用新...该专利属于上海匠微半导体设备有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海匠微半导体设备有限公司授权不得商用。
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本实用新型公开了一种供气管道连接装置,属于供气管道技术领域,包括第一管道,所述第一管道一侧设置有第二管道,第一管道靠近第二管道一侧设置有第一突出部,第二管道靠近第一管道一侧设置有第二突出部,第一突出部与第二管道内部设置有内连接组件,本实用新...