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声子电路元件制造技术
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文档序号:39598904
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一种声子电路元件,包括耦合到基板的膜,该膜包括具有孔的阵列的区域和在该区域下方的基板中提供的通道,使得该区域从基板释放,从而允许该区域传播横向声波,其中孔被间隔开实质上小于声波的波长的距离
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该专利属于昆士兰大学所有,仅供学习研究参考,未经过昆士兰大学授权不得商用。
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