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一种基于热电子放电的高离化磁控溅射设备，包括炉体，炉体中设有垂直电场以及与垂直电场高度正交的周向闭合磁场和
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该专利属于苏州艾钛科纳米科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州艾钛科纳米科技有限公司授权不得商用。

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