下载一种三氯化铁蚀刻废液的循环回用与资源回收方法的技术资料

文档序号:39573301

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本发明涉及一种三氯化铁蚀刻废液的循环回用与资源回收方法,对于不同体量和不同组分的三氯化铁蚀刻废液可以灵活选用不同规模和类型的设备及处理工艺过程,同时避免氧化剂的使用以及
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