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文档序号:39570002

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本发明公开了一种用小口径光束扫描标定大口径物镜焦面的方法,以解决现有技术中,在外场使用的大口径物镜或者在线使用的大口径物镜的焦面标定过程,存在着经济代价较高,操作不便,适用范围小的问题
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该专利属于中国科学院西安光学精密机械研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院西安光学精密机械研究所授权不得商用。

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