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本申请公开了具有减少的机械应力的沟槽电容器。一种沟槽电容器(100)，包括以2D重复图案被布置在衬底(101)中的多个单位沟槽电容器(110)。单位沟槽电容器(110)被这些单位沟槽电容器之间的细长的沟槽或细长的壁(103)分开。此外，沟槽...
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