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本实用新型公开了一种用于ALD铝舟防潮湿的装置，包括设置于ALD下料端的铝舟，所述铝舟开口端的一侧设置有能够定时产生恒温气体的主机，所述主机侧壁连接有与PLC控制器电连接的数据线，所述主机侧壁连接有用于传输恒温气体的出风管，所述出风管远离主...
该专利属于江苏华恒新能源有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏华恒新能源有限公司授权不得商用。

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