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本实用新型提供一种扭矩减震装置，所述扭矩减震装置设置于工件台上，所述工件台包括基座、位于所述基座上方的基片台以及位于基座和基片台之间的驱动系统，所述驱动系统驱动所述基片台运动；所述驱动系统与探测控制装置电性相连，其特征在于，所述扭矩减震装置...
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