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本发明属于半导体激光器领域，特别涉及一种高可靠性高速直调DFB激光器及其制作方法，高可靠性高速直调DFB激光器包括：高速DFB激光器结构，其具有倒台型脊波导；第一Si钝化膜，其覆盖在高速DFB激光器结构的前腔面；第二Si钝化膜，其覆盖在高速...
该专利属于中国电子科技集团公司第四十四研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国电子科技集团公司第四十四研究所授权不得商用。

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