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本发明的基板处理组合物是用于处理涂布有含金属抗蚀剂组合物的基板的组合物，其包括有机溶剂、有机酸、和添加剂，其中，添加剂包括由槲皮素和/或其衍生物制成的螯合剂。由槲皮素和/或其衍生物制成的螯合剂。由槲皮素和/或其衍生物制成的螯合剂。
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该专利属于SK株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过SK株式会社授权不得商用。

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