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本发明提供一种粒子束显微系统及其操作方法。用于清洁自身的该粒子束显微系统１包括：辐射系统，以导引电磁辐射到需要清洁的表面；以及供给系统６１，以供给前驱气体到粒子束系统１的真空室１１的内部。在将被清洁的表面的附近，前驱气体被激活并转变为与存在...
该专利属于卡尔蔡司ＮＴＳ有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过卡尔蔡司ＮＴＳ有限责任公司授权不得商用。

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