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一种铝掺杂氧化锌透明导电膜制备设备制造技术
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文档序号:39417411
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本发明属于化学镀膜技术领域,具体的说是一种铝掺杂氧化锌透明导电膜制备设备,包括镀膜反应釜,镀膜反应釜包括釜体,釜体顶部安装有顶盖,釜体侧壁设有进液管,反应腔底部侧壁设置有出液管,出液管穿过釜体侧壁与外界相通;釜体的反应腔底部设置速溶组件,用...
该专利属于江西联淦电子科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江西联淦电子科技有限公司授权不得商用。
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