下载硅棒垫的技术资料

文档序号:3940978

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本发明公开一种硅棒垫,其包括垫子本体以及设置于垫子本体上的多数圆球形支撑体,所述垫子本体上被分割成多数方形单元格,且所述每个单元格的四角均分别斜向上延伸有连接支撑体的连接部,所述两个相邻的连接部之间均开有通孔,所述垫子本体、支撑体以及连接部...
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