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本发明涉及一种精密竖直平面校正系统和内部误差补偿方法，精密竖直平面校正系统包括X直线运动台、Z直线运动台、控制器、电脑以及每个直线运动台所嵌入的六自由度误差在线测量系统，内嵌的六自由度误差在线测量系统包括四自由度测量模块、滚动角测量模块和光...
该专利属于大连理工高邮研究院有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过大连理工高邮研究院有限公司授权不得商用。

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