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本发明提供一种晶圆检测装置和方法，装置包括设置在基台上的XY机构和图像采集机构，图像采集机构包括图像采集器和测距模块，测距模块位于图像采集器的一侧；XY机构上设有升降机构，升降机构的升降端设有晶圆载台。方法包括预先测定标定物与图像采集器的测...
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