下载重力辅助式压电惯性角位移平顺微动平台及驱动方法的技术资料

文档序号:39404844

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本发明公开了一种重力辅助式压电惯性角位移平顺微动平台及驱动方法;本发明将压电堆叠与柔性铰链机构采用接触装配,锯齿波采用
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