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一种提升熔石英元件损伤阈值的激光清洗方法，包括：首先用光学显微镜和荧光共聚焦显微镜检测表面及亚表面污染缺陷的分布和深度；随后采用应力双折射仪进行不同清洗深度热应力的测定；再通过特定参数进行近无热应力的激光清洗，从而去除元件表面及亚表面污染和...
该专利属于中国科学院上海光学精密机械研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院上海光学精密机械研究所授权不得商用。

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