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一种在石墨材料表面制备碳化硅薄膜的装置及方法，属于表面改性技术领域，解决石墨坩埚使用过程中表面脱落的技术问题，解决方案为：本装置包括真空室、方波脉冲电源、加热电路和加热电源，方波脉冲电源与磁控靶头电性连接，靶材安装在磁控靶头上；在真空室的底...
该专利属于苏州市职业大学（苏州开放大学）所有，仅供学习研究参考，未经过苏州市职业大学（苏州开放大学）授权不得商用。

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