下载一种晶棒生产方法、装置、副炉室、电子设备及存储介质的技术资料

文档序号:39402512

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本申请的实施例公开了一种晶棒生产方法、装置、副炉室、电子设备及存储介质,通过对主炉室放置的硅原料进行预设处理,得到晶棒;控制所述晶棒生长,若所述晶棒生长到目标阶段,则按照目标提升速度对所述晶棒进行拉速提升;在对所述晶棒进行拉速提升时,控制副...
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