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本发明公开了一种滤波器的制备方法及结构，制备方法包括：形成待移除结构包括：衬底、缓冲层、介质层、牺牲层和刻蚀停止层；在刻蚀停止层上形成单晶压电层；在单晶压电层远离待移除结构的一侧形成第一电极层；第一电极层包括多个第一电极；在每一第一电极上形...
该专利属于华景传感科技（无锡）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过华景传感科技（无锡）有限公司授权不得商用。

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