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二自由度重力辅助式压电惯性平顺位移台及驱动方法技术
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文档序号:39399315
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本发明公开了一种二自由度重力辅助式压电惯性平顺位移台及驱动方法;本发明的压电惯性平顺位移台利用重力辅助通过单个激励源实现了压电角位移微动平台在单一自由度的双向平顺驱动;利用压电堆叠和柔性铰链机构的接触装配特性使单个方向实现位移激增运动,之后...
该专利属于浙江大学所有,仅供学习研究参考,未经过浙江大学授权不得商用。
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