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本实用新型涉及一种回流炉用抽真空装置，包括真空腔，所述真空腔外接有真空泵，真空腔顶部对应设置真空盖，底部承托有顶升机构，所述顶升机构包括：基准底板，基准底板上安装伺服电机；传动皮带，与伺服电机的输出轴相接；丝杠组件，包括若干根丝杠，丝杠和伺...
该专利属于立忞半导体科技（无锡）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过立忞半导体科技（无锡）有限公司授权不得商用。

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