下载一种基于多维自动对焦的极片检测系统的技术资料

文档序号:39366195

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本实用新型公开了一种基于多维自动对焦的极片检测系统,包括:工作台,其用于放置待测极片;三轴移动模组,其位于所述工作台上,用于带动光学检测系统沿三个维度移动;所述光学检测系统,包括多个光学镜头组件;所述光学镜头组件包括大视野镜头和高倍率镜头;...
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