下载一种具有抗氧化性能的切割液及其制备方法和应用的技术资料

文档序号:3934681

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本发明提供一种具有抗氧化性能的切割液,它由以下重量百分比的组分组成:50~90%的聚醚、1~10%的螯合剂、0.01~20%的抗氧剂和0~20%的去离子水。本发明切割液提高了聚醚的热稳定性,防止了聚醚过氧化物的产生,有效防止了硅片表面氧化,...
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