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本实用新型属于腔室工装技术领域，具体涉及一种用于真空传输室腔盖的升降装置，包括两升降臂、减速机组件、驱动电机，升降臂一端与盖板连接，升降臂另一端与减速机组件连接；减速机组件包括箱体、一级减速轴、二级减速轴、三级减速轴；箱体设置在真空传输室外...
该专利属于江苏鲁汶仪器股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏鲁汶仪器股份有限公司授权不得商用。

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