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本发明公开了一种悬臂探针的校正装置及校正方法，属于探针技术领域。所述校正装置包括针台和校正组件；所述针台的顶面具有V形容置槽，所述V形容置槽用于容置悬臂探针的针杆，且所述V形容置槽的槽底倾斜于水平面布置；所述校正组件包括驱动件和两个间隔布置...
该专利属于武汉精测电子集团股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过武汉精测电子集团股份有限公司授权不得商用。

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