下载一种单晶硅生长炉加热器节能支撑脚结构的技术资料

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本实用新型涉及坩埚法生长晶体炉子装置的改进机构,一种单晶硅生长炉加热器节能支撑脚结构,所述支撑脚为上、下两段圆柱段组成,上段为石墨段(9a),且上表面开设轴向的定位销孔,下段为绝热段(9b),且下表面轴向开设金属电极孔。所述上、下两段之间以...
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