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一种磁性多层膜及其制备方法和应用技术
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文档序号:39331605
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本发明涉及磁性材料和高密度信息存储技术领域。本发明提供了一种磁性多层膜及其制备方法和应用。本发明的磁性多层膜,包括基底、缓冲层、铁磁层、氧化物层以及保护层,其中,铁磁层材料为CoZrTa,铁磁层中Co、Zr、Ta原子摩尔比为90:5:5;本...
该专利属于季华实验室所有,仅供学习研究参考,未经过季华实验室授权不得商用。
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