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本发明公开了一种磁各向异性及表面粗糙度可调控的铥铁石榴石薄膜及其制备方法，制备方法包括以下步骤：将钆镓石榴石衬底和铥铁石榴石靶材置于脉冲激光沉积设备的腔体中；将腔体抽真空后通入氧气，调控氧压为10
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该专利属于中国科学技术大学所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学技术大学授权不得商用。

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